ในขณะเดียวกับในปี 2001 ASML ได้เข้าซื้อกิจการของ Silicon Valley Group ซึ่งเป็นบริษัทผลิตเครื่องจักรในการผลิตชิปแห่งสุดท้ายของอเมริกา แต่ก็มีคำถามเกิดขึ้นอีกครั้งว่าดีลนี้มันเหมาะสมหรือไม่และจะส่งผลต่อเรื่องความมั่นคงของอเมริกาหรือไม่
1
ภายใน DARPA และกระทรวงกลาโหมของสหรัฐฯ ซึ่งให้ทุนกับอุตสาหกรรมนี้มาอย่างยาวนาน เจ้าหน้าที่บางคนได้มีการคัดค้านดีลดังกล่าว สภาคองเกรสก็แสดงความกังวลเช่นเดียวกัน โดยวุฒิสมาชิกสามคนได้เขียนจดหมายถึงประธานาธิบดี George W. Bush ว่า “ASML จะครอบครองเทคโนโลยี EUV ทั้งหมดของรัฐบาลสหรัฐฯ”
1
วุฒิสมาชิกได้เขียนจดหมายถึงประธานาธิบดี George W. Bush ถึงภัยอันตรายที่จะเกิดขึ้นหาก ASML ครอบครองเทคโนโลยี EUV (CR:Flickr)
ฝั่งของ Intel ก็ได้ออกมาโต้แย้งในเรื่องดังกล่าวว่าการขาย Silicon Valley Group ให้กับ ASML มีความสำคัญต่อการพัฒนา EUV และเป็นพื้นฐานสำหรับอนาคตของการประมวลผล ซึ่งหากไม่มีการควบรวมกิจการเส้นทางในการพัฒนาเครื่องมือใหม่ในสหรัฐอเมริกาจะล่าช้าออกไปอีก